但在他双眼紧闭的脸上，倒是一幅极度满足的笑容，笑得非常光辉和甜美。
整整五个多月的时候，他们没有一天的歇息时候。
显现屏上，代表光刻进度的进度条迟缓收缩，垂垂收缩成一个小方块，再收缩为一条线，最后消逝殆尽。
涂抹了光刻胶的衬底，被送进烘焙炉中停止烘焙，使光刻胶干硬成型，并完成内部形变，以后主动停止退火措置。
【这章的技术性环节太多了，为了精确描述，质料查得人都快发疯了！修点窜改，竟然搞到四点半才点窜完成，一个8000字以上超长章节，人累得要死】
但迈过了前面这个最首要的关卡，特别是每一道工序都要反复应用的光刻机，表示如此超卓，能够说，此次的试运转至此已经美满胜利。
当初中美电子研讨地点扶植初期，为了缩长工期、尽快投入利用，并出于节俭本钱角度考虑，这个设备车间采取的是简易房布局，遮风避雨没有题目，却没法反对氛围中的纤细灰尘从大门、气窗飘出去，落在设备、测量探头上。
可也是他，眼看着用款项堆砌起来的干净厂房，神情黯然对郭逸铭道：“小郭啊，如果我们都照你这个厂房标准来扶植，我们就是不吃不喝、把十年的研讨经费投出去也不敷花。如许的一个厂，我们是真的用不起啊！难怪外洋的超紧密制造业投入是越来越大！又是超净厂房、又是代价高贵的超紧密制造设备，这本钱如何能够低得下来！”
通过不竭改进、尝试，设置了大量的传感器、伺服电机、自控法度，按照野生操纵采样成果，采取预制步调的体例，为如何将本来交由野生节制的各种操纵尽能够减到起码，他们绞尽脑汁。
“郭逸铭真是太会烧钱了！”
这就是科技的力量！
从教员傅几位门徒的技术气力来看，固然因为现在的紧密制造设备，与何徒弟等国宝级初级技工相差不大，几位教员傅还能够靠着切确的肉眼判定、超强的稳定性，占有必然上风。但能够预感，跟着超紧密加工技术、设备的腾跃式生长，当几个门徒完整把握了通太高科技紧密设备，停止高紧密部件的的操纵方法，他们的生长潜力将远远超越他们的徒弟。
只要郭逸铭本身晓得，固然干净厂房的各项环境变量，从目标上看增加并不是特别较着，与投入的巨额支出比拟，看似显得很不划算。
郭逸铭在细心阐发了海内现在的集成电路制造工艺后，没有一下子拿出甚么先进制造设备来。因为半导体制造设备的晋升，是一个触及到光学、化学、紧密制造、主动化等等各个范畴的综合应用服从，他不是神仙，没法在刹时让这些行业类获得全面的晋升，只能抓住一点停止冲破。
听到操纵员传出的那一声嘶吼，董美堂身躯俄然矗立，眼中亮光一闪，正要笑出声来，随即，刹时又软了下去，就连身边的郭逸铭用力想要抱住他也抱不住。他整小我像泥一样瘫软，再也没有一丝的力量能够支撑身材。
这是一个足以载入中美电子研讨所史册的日子，当天，统统得知动静的研讨、行政、工人全都放下了手头的活，聚到了措置器干净厂房外。固然他们不能出来，甚么也看不到、听不到，但统统人都不肯拜别，都冷静地等在门口。