第一种是喷淋法，顾名思义就是把水喷到晶圆上然后再敏捷带走，常见的喷淋法工艺是在镜头的一侧设置一个超紧密喷嘴，跟着镜头加工活动把水喷到镜头下方，然后从镜头的另一侧把水吸走。
“看光斑的大小窜改是不是一会近似正方形一会近似长方形～”
宁婉嘉猎奇的问道。
第二种叫浴缸法，这个别例和梁远方才说的灵感近似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸跟着晶圆事情台挪动。
七十年代中期，支流蚀刻机对颠末光刻机暴光以后晶圆都是采取液体化学溶剂冲刷光刻胶，是以也叫湿式蚀刻，七十年代末八十年代初，东洋尼康采取气体冲刷的干式蚀刻机研制成熟，只用了几年的时候就淘汰了操纵庞大腐蚀净化严峻的湿式蚀刻。
刘飞扬收起轻松的心态，快步把小集会室的门锁成手动开启的那种。
欢畅的两个丫头微微昂首嘉奖了梁远两个亲亲。
“你们说，如果把晶圆丢在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”
“宁叔，我在港基集电这边开技术集会呢，如果不出不测，今后的保密级别应当是绝密。”
“需求多少？你们三个碰一下？”
九十年代初，制程工艺和芯片设想之间的分界远没有将来那般清楚，技术大佬三人组目前固然都是以芯片设想为主业，但三人都对晶圆制程了如指掌，随便丢到那条产线被骗个线长绝对是富富不足。
梁远指着湖面上磁悬浮胶囊列车留下的蓝色光斑投影快速说道。
“需求多少？”
普通来讲，王欣要的那种超纯水是分离重水的副产品，这东西环球有才气出产的估计两只手就数得过来了，重水的代价在九十年代是5元每毫升，这个副产品代价多少还真没法衡量
“啊啊猪头终究靠谱了一次，港基集电那么多人都没想出来从这个方向动手呢。”
刘飞扬小小的“呃”了一声，把差点脱口而出的大少是真有吉利物属性的话硬生生的咽了归去。
梁远笑着说道。
“啊～啊～啊～猪头好短长！”
这类体例的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆出产线的良品率形成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆出产线做较大的窜改，必须研制全新的能在水中事情的光刻胶，必须对晶圆事情台加以改进，并且因为晶圆事情台上增加了水的重量，晶圆出产线的出产节拍也会随之窜改，比拟喷淋法晶圆出产线的出产效力会有必然幅度的降落。
可惜，整整二十多年，全部东洋也没人想到把湿式工艺挪移到上一个出产环节。
牛顿之前，无数人被东西砸了脑袋也没发明万有引力，梁土豪之前，无数的酒鬼醉眼迷离也没想到光刻机的线宽，梁远本身感觉这锅鸡汤炖得还是蛮有风格的。
两个丫头迷惑的盯着湖水看了又看，也没想明白这普浅显通的湖水能看出来甚么灵感。
“大少，明天这是又从那里捡到人了么？”
“细心看，投影在水面上是不是在不断的颠簸～”
刘飞扬发明开会的阵容和明天一样，说了一个温度比较低的笑话。
发觉了梁远发楞，两个丫头到是晓得梁远又走神去想方才说俄然忘记的东西去了。
昨晚刘飞扬和聂晓天应酬完方伟林一行人，两人结伴回家时还笑言港基集电有吉利物属性的大少，193纳米光源壁垒必定得我们追上来才气冲破，哪成想只是回家睡了一觉，第二天梁远就直接爆种了。