陈飞俄然笑了，果断地说道：“不管RB人是不是用电子束，我已经决定要用它了！我们就走这条路！传授，我需求一支完整的芯片工艺开辟团队，您能不能帮我招募，如果您能领衔参与，那就更好了。”
并且在制程上，能够中转3nm！
因为比拟起其别人，他的最大上风，就是掌控电子和原子的才气。
以是，不要抱怨芯片设想保守，不保守不可。
目前统统的题目，都集合在电子束光刻机身上。
陈飞直接跳了起来，要不是连学志就在面前，要保持形象，他直接想爆粗口了。
陈飞来回巡查着，终究将目光逗留在电子束光刻机上。
连学志笑道：“不是不消光罩，而是组合反复利用，将光罩作为牢固投资，而不是耗材。”
他说道：“传授，电子束光刻机才是关头啊。”
但是RB的速率，是1分钟1片，只比浅显光刻略微多了一点，实在太快了，让人不敢信赖誉的是电子束。这也是独一冲突的处所。
哪怕花掉身上统统的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研讨出来。
事情终究有了端倪，陈飞略微松了口气。
连学志神采也严厉起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一向只能在尝试室中利用。RB人的数据却分歧，他们的速率，起码是1分钟1片的速率，太夸大了，我不晓得他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”
连学志笑道：“浅显的晶圆厂，需求用无尘室，主如果因为他们的工序太多了，差未几有200到300道工序。但是用电子束，20道摆布便能够了。无尘室在这里不是关头。”
NBL的电子束光刻机，直写的速率一样很慢，究竟上目前市道上出售的统统电子束光刻机，直写速率都极慢。
但是换作其他芯片厂，失利一次就元气大伤，失利两次差未几就要停业了。
如果RB人真的如此做，那么在接下来的合作中，他们的反攻将会非常凌厉。
不过陈飞不想穷究这个题目，还是那句话，不管RB用的究竟是甚么技术，他已经决定用电子束！
然后电子束用纳米套刻的体例，将模板图形套刻在晶圆上，以后电子束再逐点扫描，将图形补全。
他冲动地走来走去，过了一会儿，才将思路重新清算清楚。
每一款芯片，都必须为它制作一组光罩组。哪怕它们没有破坏，到了下一款芯片，这些光罩组，都不能利用了，必须为新芯片制作新的光罩。
不过也不需求体味，只要能买到设备就行了。
一样的，如果陈飞把握了这项技术，那么在制程合作中，就会敏捷反超。EUV的波长很短，只要13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！
这项技术，是真正的弯道超车。
当然，真正的出产不会如此简朴，不过大抵的过程就是如此了。
为甚么厂房只需求一个足球场就够了，因为工序少，设备也就少，同时也就不需求无尘室；
为甚么一次只出产一块0.5寸的单芯片，因为是电子束，哪怕是12寸晶圆，它也得一个一个去刻。以是没需求用12寸，0.5寸单芯片就充足了。
有个好动静就是，海内目前有顶尖的电子束光刻机设备商，固然是收买来的。