题目主如果，如果真的做出来如何解释？他不成能同时精通那么多范畴，会被人思疑的。
一条清楚的头绪刹时贯穿。
连学志神采也严厉起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一向只能在尝试室中利用。RB人的数据却分歧，他们的速率，起码是1分钟1片的速率，太夸大了，我不晓得他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”
然后电子束用纳米套刻的体例，将模板图形套刻在晶圆上，以后电子束再逐点扫描，将图形补全。
NBL的电子束光刻机，直写的速率一样很慢，究竟上目前市道上出售的统统电子束光刻机，直写速率都极慢。
但是RB的速率，是1分钟1片，只比浅显光刻略微多了一点，实在太快了，让人不敢信赖誉的是电子束。这也是独一冲突的处所。
为甚么不需求分外光罩，因为用的是能够反复利用的光罩库。
跟着工艺的晋升，光罩的用度也在飞速增加，从几百万美圆，到上千万美圆，在新工艺的初期，代价乃至会达到上亿美圆。
陈飞看着全息影象中的迷你晶圆厂运转，不得不赞叹，这个构思实在太奇妙了。
因为比拟起其别人，他的最大上风，就是掌控电子和原子的才气。
目前统统的题目，都集合在电子束光刻机身上。
连学志笑道：“不是不消光罩，而是组合反复利用，将光罩作为牢固投资，而不是耗材。”
不过陈飞不想穷究这个题目，还是那句话，不管RB用的究竟是甚么技术，他已经决定用电子束！
哪怕花掉身上统统的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研讨出来。
坦白的讲，陈飞不晓得他们是如何完成此项豪举的。
小米做手机芯片，愣是不敢直接上16nm，就是怕流片失利。
一样的，如果陈飞把握了这项技术，那么在制程合作中，就会敏捷反超。EUV的波长很短，只要13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！
他冲动地走来走去，过了一会儿，才将思路重新清算清楚。
每一款芯片，都必须为它制作一组光罩组。哪怕它们没有破坏，到了下一款芯片，这些光罩组，都不能利用了，必须为新芯片制作新的光罩。
当然，真正的出产不会如此简朴，不过大抵的过程就是如此了。
光罩海内也有人叫它掩膜版，在目前统统晶圆厂中，包含intel，台积电，中芯等，都是作为耗材利用的。