“精”，前人以为六合间万物皆秉精气而生。《周易・系辞上》：“精气为物，游魂为变。”唐朝孔颖达疏：“云精气为物者，谓阴阳精灵之气，氤氲积聚而为万物也。”前人以为年深日久的动植物及器物能够获得六合阴阳之气而成为具有超天然力量的精灵，人们称之为精。汉朝王充在《论衡・订鬼篇第六十五》中说：“夫物之老者，其精为人；亦有未老，机能窜改，象人之形。”晋代神仙家葛洪的《抱朴子》言：“万物之老者，其精悉能假托人形。”人以外的事物获得灵魂、神力而能兴妖捣蛋，就是精怪。它也老是被看作变态的、分歧于正神的、常给人们带来灾害的精灵。它有一个牢固的天然物或器物为本相，是一个由物变幻而成的精灵。
《山海经》中国北方的地理博物志，最早记录妖怪的文献。《楚辞》南边民族的卜筮祭文。如果地上呈现违归普通状况的事物，就定名为“妖”。如男扮女装或女扮男装即为人妖。《左传?宣公十五年》：“天反时为灾，地反物为妖。”东西老旧了会窜改成精。许慎《说文解字》：“魅，老精物也。”王充《论衡》：“物之老者，其精为人。”晋代史官干宝所著《搜神记》始有更明白的定义。《搜神记》卷六：“妖怪者，盖精气之依物者也。气乱于中，物变于外。”
精也是指变态奇特的事物，也老是给人们带来灾害，与妖、怪的意义附近，以是人们也常合称精怪、妖精。晋干宝《搜神记》卷十八记有：“明日视之，乃老狐也。自是亭舍更无妖怪。”这里的妖怪就是狐变成的精灵。干宝又在《搜神记》卷六说：“妖怪者，盖精气之依物者也。”就是说妖怪是各种六合精气变幻而成的事物。
“妖”，有两层根基含义，一是指变态奇特的事物和征象，这是妖的最后含义。《说文解字》释之为：“地反物也，从示，和神同类。”《左传・宣公十五年》记录：“天反时为灾，地反物为妖，民反德为乱，乱则妖灾生。”反物，指群物落空本来的常性。《左传・庄公十四年》：“人弃常则妖兴，故有妖。”这里的妖不必然有一个精灵的实体，如“服妖”不是指衣服成了精，而是在对人们的衣打扮潢有着严格规定的当代，人们穿了奇装异服，乱了礼法，含有贬义。